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精密传感器

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从光刻机到航天器：高端装备精密传感器技术全产业链深度盘点精密传感器如同高端装备的“神经末梢”，在芯片制造、工业自动化及航天领域承担着环境感知与数据采集的关键使命。本文系统解析三大场景的技术链路与核心元器件支撑体系。光刻机中的微米级感知系统环境控制传感器集群现代光刻机需维持纳米级操作环境，其传感系...

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