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精密控制技术

162025-07
半导体制造决胜关键：高端装备中的纳米级精密控制技术解析半导体制造已进入纳米级竞赛，其核心突破在于高端装备中实现的原子级操作精度。纳米级精密控制技术如同精密钟表的心脏，直接决定了芯片性能与良率。本文将解析该技术三大核心环节及其对电容器、传感器等基础元件的严苛需求。一、纳米级运动控制的实现基础半...

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